流量(liang)測量技(jì)術之 微小(xiǎo)流量 的測(ce)量     
半導體(tǐ)制造業(yè)、生物工(gōng)程、精細(xi)化工等(děng)的興起(qǐ)，使流量(liàng)🤩測量向(xiang)低端延(yán)伸，小流(liu)量計流(liú)量的要(yào)求在上(shàng)世紀 80 ∽ 90 年代凸(tū)顯起來(lai)。何謂小(xiao)流量 ? 業界(jiè)尚無*的(de)定義和(hé)界限，小(xiǎo)流量因(yin)應用領(lǐng)域而異(yi)是一個(gè)模糊的(de)概念。管(guan)道小流(liu)量測量(liàng)體現于(yu)管徑❗小(xiao)和流速(sù)低兩個(ge)層次，就(jiù)流程工(gōng)業而言(yan)，習慣上(shàng) DN10 甚(shèn)至 DN15 以下管(guǎn)徑流量(liàng)測量稱(cheng)之小流(liu)量測量(liang)，通常其(qí)流量值(zhí)液體爲(wei) 1L/min 或(huò) 0.06m3/h 以(yǐ)下，流量(liang)儀表滿(mǎn)度流量(liang)時的流(liú)速低于(yu) 0.1m/s 。
1 、測量(liàng)方法
傳統(tong)小流量(liang)測量技(ji)術節流(liu)差壓 ( 層流(liu) ) 法(fǎ)、浮子法(fa)和容積(ji)法等有(yǒu)了的改(gai)進，新測(ce)量技術(shù)如🔴超聲(sheng)法、熱法(fǎ)、科裏奧(ào)利法等(děng)也有成(cheng)效地應(ying)于液體(ti)📞和氣🌈體(ti)小流量(liang)測量。
2 、特點(diǎn)
微(wēi)小流量(liang)與一般(ban)流量測(ce)量相比(bi)較，具有(yǒu)以下特(tè)點。
1) 雷諾數(shu)低
一般管(guǎn)道流動(dong)均爲紊(wěn)流流動(dòng)，流量儀(yí)表也是(shi)針對紊(wěn)流流動(dong)👨‍❤️‍👨态設計(ji)的，而小(xiao)流量儀(yi)表因管(guǎn)徑小常(chang)處🚩于層(céng)⚽流流動(dòng) ( 例(lì)如管内(nèi)徑 6mm ，流量 0.05L/min ， Re 爲 1800 或層流(liú) / 紊(wěn)流過渡(du)區流态(tai)流動，小(xiǎo)流量測(ce)量受使(shǐ)用中流(liu)體💜黏🔞度(du)變化影(ying)響頗大(dà)。
2) 要(yao)用實際(ji)使用流(liú)體校準(zhǔn)
液(ye)體流量(liàng)儀表一(yi)般用水(shuǐ)校準，氣(qi)體用空(kōng)氣校準(zhǔn)。若知道(dao)實際測(cè)量流體(ti)與校準(zhǔn)流體間(jiān)某些物(wù)性不同(tóng)對示值(zhi)有規律(lǜ)❄️變化🔞時(shí)，中🌏大管(guan)徑流量(liang)儀表常(chang)以适當(dang)系數修(xiu)正。但有(yǒu)些小🈲流(liú)量儀表(biǎo)受黏度(dù)等流體(tǐ)物性影(yǐng)響大，須(xu)以實際(ji)使用流(liú)體校準(zhǔn)。所幸流(liu)量小，用(yong)實際使(shǐ)用流體(tǐ)校準難(nan)度不大(da)，但在作(zuo)有害性(xìng)流體校(xiao)準時應(yīng)注意安(ān)全和環(huan)境污染(rǎn)。
3) 要(yào)求測量(liang)時防止(zhǐ)污染流(liu)體
若測量(liang)潔淨氣(qi)體和純(chún)水常不(bú)允許接(jiē)觸流體(ti)的儀表(biǎo)🔅零件材(cái)料析出(chū)離子，例(lì)如半導(dǎo)體制備(bèi)中儀表(biǎo)不🐉能用(yòng)金屬和(hé)玻璃制(zhi)♉成，隻能(neng)用塑料(liào)。流體中(zhong)也不允(yǔn)許混入(ru)活動件(jiàn)的磨蝕(shi)塵粒。流(liú)量儀表(biǎo)流通通(tōng)道要🈲盡(jìn)可能簡(jian)單，不應(yīng)有潴留(liú) ( 指(zhi)液體在(zai)體内不(bú)正常地(dì)聚集停(tíng)留 ) 部位，防(fang)止潴留(liú)介質變(biàn)質。
4) 氣泡和(hé)塵埃附(fu)着的影(yǐng)響
因管徑(jing)小黏性(xing)增加，液(ye)體中微(wēi)細氣泡(pao)易在管(guǎn)系流動(dong)🐆過程中(zhōng)㊙️積聚變(biàn)大，使測(ce)量時指(zhǐ)示不穩(wen)，度下降(jiàng)。流體中(zhong)塵埃附(fù)着測量(liang)✉️元件也(yě)要影響(xiǎng)測量值(zhí)，例如浮(fú)子流量(liàng)計的浮(fu)子上沉(chen)積有肉(rou)眼覺察(cha)不出的(de)附着💋層(céng)也會影(ying)響示值(zhi)。
5) 流(liú)量儀表(biǎo)品種使(shǐ)用上受(shòu)到一定(ding)限制
在衆(zhōng)多測量(liang)原理流(liú)量儀表(biǎo)中，因各(ge)種原因(yin)小流量(liang)應🥵用受(shou)到一些(xiē)限制，當(dang)前能應(ying)用于小(xiao)流量的(de)品種如(ru)表格所(suo)示