FS4001系列測量(liang)氣體流量傳感(gan)器
産品時間:2025-12-01
簡(jiǎn)要描述:
FS4001系列測(cè)量氣體流量傳(chuan)感器是專門爲(wei)各類小流量氣(qì)體的測量和過(guo)程控制而設計(ji)的。這一系列傳(chuan)感器均采用⭕本(běn)公司自主研發(fā)的微機電系統(tǒng)(MEMS)流量傳感芯片(piàn)來制作,适用于(yu)各類清潔氣體(tǐ)🐪。
簡介:
FS4001系列測量(liàng)氣體流量傳感(gan)器 是專門(men)爲各類小流量(liang)氣體的測量和(he)過程控制而設(shè)計的。這一系列(liè)傳感器均采用(yong)本公司自主研(yán)發✔️的微機電系(xì)統( MEMS )流量傳(chuán)感芯片來制作(zuo)。
FS4001系列測量氣體(tǐ)流量傳感器 适用于各類(lei)清潔氣體。*的封(fēng)裝技術使之可(ke)用于各類管☀️徑(jìng)🌏,成本低、易安裝(zhuāng)、不需要溫度壓(ya)力補償,可替代(dài)容積式或壓差(cha)式的傳統流量(liang)傳感器。
産品特點:
-
傳感器靈敏(mǐn)度高
,
有極(ji)小的始動流量(liang)
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傳感器芯(xīn)片采用熱質量(liàng)流量計量
,
無需溫度壓力(lì)補償
,
保證(zheng)了傳
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感器(qi)的高精度計量(liàng)
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在單個芯(xin)片上實現了多(duō)傳感器集成
,
使傳感器的(de)量程比大大提(tí)高
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傳感器(qì)的零點穩定度(dù)高
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全量程(cheng)高穩定性
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全量程高精确(que)度和優良的重(zhòng)複性
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低功(gōng)耗
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低壓損(sǔn)
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響應時間(jian)快
主要參(cān)數:
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性能參數 |
FS4001 |
單(dān)位 |
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通 徑 |
1.0 |
1.8 |
mm |
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大流量(liàng) |
30, 100, 200 |
500, 1000 |
SLPM |
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量程比 |
>100:1 |
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精 度 |
±(1.5+0.2FS) |
% |
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重(zhong)複性 |
0.25 |
%讀數 |
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零點(dian)輸出飄移 |
±30 |
mV |
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輸出(chu)飄移 |
±0.12 |
%/oC |
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響應時間(jiān) |
4, 8, 16, 33 , 65 , 131 |
mses |
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工作電源 |
8~18Vdc,50mA |
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輸出(chu)方式 |
線性,RS232/模拟(nǐ)電壓0.5~4.5Vdc |
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大流量壓(ya)損 |
350 |
300 |
pa |
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大工作壓力(li) |
0.5 |
MPa |
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工作溫度 |
-10 ~ +55 |
oC |
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存儲(chǔ)溫度 |
-20 ~ +65 |
oC |
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工作濕度(dù) |
<95%RH(無結冰、無凝露(lù)) |
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機械接口 |
可拆(chai)式軟管接頭 |
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校(xiao)準方式 |
空氣(或(huo)其他氣體),20oC,101.325kPa |
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重量(liang) |
15 |
g |
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