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氣體流(liú)量監測(ce)傳感器(qì)

産品時(shí)間:2025-12-01

簡要(yao)描述:

FS4001系(xi)列氣體(tǐ)流量監(jiān)測傳感(gan)器适用(yòng)于各類(lei)清潔氣(qi)體。*的封(feng)裝技📞術(shù)使之可(ke)用于各(ge)類管徑(jing),成本低(di)、易安裝(zhuang)、不需要(yao)溫度壓(ya)力補償(chang),可🌐替代(dài)容積式(shi)或壓差(cha)式的傳(chuan)統流量(liàng)傳感器(qì)。

産品簡(jiǎn)介:

FS4001系列(lie) 氣體流(liú)量監測(cè)傳感器(qì) 是(shì)專門爲(wei)各類小(xiǎo)流量氣(qì)體的測(cè)量和過(guo)程控制(zhi)而設計(ji)⭕的。這一(yī)系列傳(chuan)感器均(jun1)采用本(ben)公司自(zì)主研發(fa)的微機(jī)電系統(tong)( MEMS )流(liú)量傳感(gǎn)芯片來(lai)制作。


産品特(te)點:
  - 傳感器(qi)靈敏度(du)高 , 有極小(xiao)的始動(dong)流量
  - 傳感(gǎn)器芯片(piàn)采用熱(re)質量流(liu)量計量(liang) , 無(wú)需溫度(dù)壓力補(bǔ)償 , 保證了(le)傳
  - 感器的(de)高精度(dù)計量
  - 在單(dān)個芯片(pian)上實現(xiàn)了多傳(chuan)感器集(jí)成 , 使傳感(gǎn)器的量(liàng)程比大(da)大提高(gao)
  - 傳(chuán)感器的(de)零點穩(wěn)定度高(gāo)
  - 全(quan)量程高(gāo)穩定性(xìng)
  - 全(quán)量程高(gāo)精确度(dù)和優良(liáng)的重複(fu)性
  - 低功耗(hao)
  - 低(di)壓損
  - 響應(ying)時間快(kuai)

機(jī)械尺寸(cùn):


主要(yao)參數:

通(tōng) 徑

1.0

1.8

mm

大流(liu)量

30, 100, 200

SLPM

量程(chéng)比

>100:1

 

重複性(xing)

0.25

%讀數

零(líng)點輸出(chū)飄移

±30

mV

±0.12

響應時(shi)間

4, 8, 16, 33 , 65 , 131

mses

工作(zuò)電源

8~18Vdc,50mA

 

輸(shu)出方式(shì)

線性,RS232/模(mo)拟電壓(ya)0.5~4.5Vdc

 

大流量(liàng)壓損

300

pa

大(da)工作壓(ya)力

0.5

MPa

工作(zuo)溫度

-10 ~ +55

oC

存(cún)儲溫度(dù)

-20 ~ +65

oC

 

機械(xiè)接口

可(kě)拆式軟(ruan)管接頭(tóu)

 

校準方(fang)式

空氣(qi)(或其他(tā)氣體),20oC,101.325kPa

 

重(zhòng)量

15

g

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