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FS4001系列(liè)小流量氣體質量(liàng)流量傳感器
産品(pin)時間：2025-12-01
簡要描述：
FS4001系(xì)列小流量氣體質(zhi)量流量傳感器是(shì)專門爲各類小流(liu)量氣🐕體的測量和(he)過程控制而設計(ji)的。這一系列傳感(gǎn)器🌈均采用本公司(sī)自主研發的微機(jī)電系統（MEMS）流量傳♈感(gan)芯片來制作，适用(yòng)于㊙️各類清潔氣體(tǐ)。*的封✏️裝技術使之(zhī)可用于各類管徑(jìng)，成本低、易👈安裝、不(bú)需🐆要溫度壓力補(bǔ)償，可替代容積式(shi)或壓差式的傳統(tǒng)流量傳感器。
産品簡介(jiè)：
FS4001系列小流量氣體(tǐ)質量流量傳感器(qì) 是專門爲各類小(xiao)流量氣體的測量(liàng)和過程控制而設(she)計的💯。這一系列傳(chuan)感器均采用本公(gōng)司自主研發的微(wēi)機電系統🛀（MEMS）流量傳(chuán)感💚芯片來制作，适(shì)用于各類🧑🏽🤝🧑🏻清潔氣(qi)體。*的封⛱️裝技術使(shǐ)之可用于各類管(guan)徑，成本低、易安裝(zhuāng)、不需要溫🧑🏽🤝🧑🏻度壓力(li)補償，可替代容積(ji)式或壓差式的傳(chuán)⭐統流量傳感☀️器。
FS4001系列(liè)小流量氣體質量(liàng)流量傳感器
靈敏(min)度高,有小的始動(dòng)流量傳感器芯片(piàn)采用熱質🙇🏻量流量(liang)🐅計量✨,無需溫度壓(yā)力補償,保證了傳(chuán)感器的高精度計(jì)量在單個芯片上(shang)實現了多傳感器(qì)集成💘,使傳感器的(de)量程比大大提高(gao)傳感器的零點穩(wen)定度高全量程高(gāo)穩定性全量程高(gao)精确度和優良的(de)重複性低功耗低(dī)壓損響♍應時間快(kuai)
主要參數：
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單位 |
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1.8 |
mm |
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大流(liu)量 |
30, 100, 200 |
500, 1000 |
SCCM |
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≥100:1 |
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% |
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%讀數 |
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零點輸(shu)出飄移 |
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輸出飄移(yí) |
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響應時間 |
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8~18Vdc,50mA |
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線性(xìng)，RS232/模拟電壓0.5~4.5Vdc |
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大流量(liàng)壓損 |
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300 |
pa |
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大工作壓力(li) |
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MPa |
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工作溫度 |
-10 ~ +55 |
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存儲溫(wen)度 |
-20 ~ +65 |
oC |
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工作濕度 |
<95%RH（無結(jié)冰、無凝露） |
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機械接(jiē)口 |
可拆式軟管接(jie)頭 |
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空氣(qi)（或其他氣體），20oC，101.325kPa |
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g |
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